센서 유형: Wind Vane, 출력 유형: NPN/PNP - Open Collector, 작동 온도: -20°C ~ 60°C (TA),
센서 유형: QCM (Quartz Crystal Microbalance), 출력 유형: Frequency, 작동 온도: -25°C ~ 75°C (TA),
센서 유형: Wafer Alignment, 출력 유형: Analog, 작동 온도: -10°C ~ 40°C (TA),